電子類醫(yī)療
當(dāng)前位置：首頁 > 經(jīng)典案例 > 電子類醫(yī)療無油微型真空泵應(yīng)用特點
電子半導(dǎo)體行業(yè)中的電子加速、光電器件、電子材料、射線管、晶振、繼電器、激光、離子注入設(shè)備、離子刻蝕機(jī)、化學(xué)氣相沉積設(shè)備、物理氣相沉積設(shè)備、分子束外延設(shè)備、集成電路封裝、等其他半導(dǎo)體應(yīng)用設(shè)備。均在蒸發(fā)，濺射，PECVD，真空干法刻蝕，真空吸附，測試設(shè)備，機(jī)械手，自動化真空清掃等等鍵合工序里所需用的真空為（中高真空）；清掃真空（粗真空）；工藝真空（粗真空）。部份還有要求真空泵向被抽空間內(nèi)的返流為零，以保護(hù)工件免受污染。
微型真空泵壽命長，體積更小，重量更輕，結(jié)構(gòu)更加合理。完全實現(xiàn)了免維護(hù)，而且泵內(nèi)無油，不污真空泵染傳輸介質(zhì)，比其他泵符合電子半導(dǎo)體行業(yè)要求。
沒有了
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